當(dāng)磁控濺射鍍膜機(jī)出現(xiàn)故障后應(yīng)先要向使用者了解故障的現(xiàn)象，之后要親自開機(jī)觀察故障，這樣才能更準(zhǔn)確、更快、更合理地排除故障。
排除故障應(yīng)先檢測(cè)低真空是否正常（機(jī)械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發(fā)室），低真空正常后再開主泵，主泵正常后檢測(cè)下室真空中是否正常，下室真空正常再開高閥進(jìn)行高真空檢測(cè)檢漏，直至達(dá)到真空，極限真空、保真空、恢復(fù)真空，如極限真空和保真空正常，而恢復(fù)真空和真空不正常則可能主泵有問題。
今天給大家列舉一些磁控濺射鍍膜機(jī)使用過程中常見的故障和解決方法，希望能幫助大家！
一、當(dāng)正在鍍膜時(shí)真空度突然下降。
1、蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈）
2、坩堝被打穿（更換坩堝）
3、高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）
4、工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）
5、預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
6、高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
7、機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否正常）
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）
9、擋板動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）
10、玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）
二、磁控濺射鍍膜機(jī)抽真空時(shí)間過長，且達(dá)不到真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空。
1、蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清冼）
2、擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清冼換油）
3、前級(jí)泵反壓強(qiáng)太大機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清冼換油）
4、各動(dòng)密封膠圈損壞（更換膠圈）
5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）
6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）
7、各引入座螺釘、螺母有無松動(dòng)現(xiàn)象（重新壓緊）
8、高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）
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