深能級瞬態(tài)譜是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段。

　　

　　深能級瞬態(tài)譜儀可以給出與陷阱有關(guān)的密度，熱交叉選擇，能級,空間分布等。通過監(jiān)測半導(dǎo)體結(jié)在不同溫度下的脈沖產(chǎn)生的電容、電流或電荷瞬變，可產(chǎn)生每個(gè)深度級別的光譜，每個(gè)深能級都有一個(gè)峰值。

　　

　　根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金－半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容（△C～t）技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜（DLTS）的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜，是一種檢測靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法。能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。

　　

　　通過對樣品的溫度掃描，可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS譜。同時(shí)DLTS測試軟件集成多種全自動(dòng)的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析，可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布。

　　

　　深能級瞬態(tài)譜儀測試須知：

　　

　　1、樣品大小：<20mm*20mm；電極直徑：>600微米；電極距離：>1mm或者在兩面。

　　

　　2、樣品結(jié)構(gòu)

　　

　?。?）肖特基結(jié)構(gòu)；

　　

　?。?）P/N結(jié)結(jié)構(gòu)（p/n+或者n/p+）；

　　

　?。?）MIS（MOS）結(jié)構(gòu)。

　　

　　測試溫度78K~700K，一定要提供樣品結(jié)構(gòu)示意圖。

　　

　　3、測試需要提供參數(shù)

　　

　　（1）樣品標(biāo)注正負(fù)極；

　　

　?。?）電流，電壓值；

　　

　?。?）結(jié)的面積。對于肖特基，即肖特基金屬的面積；對于PN結(jié)，即PN結(jié)的面積，對于MIS（MOS），即柵介質(zhì)上金屬的面積；由于測試探針針尖面積約500平方微米，故要求結(jié)的面積要大于針尖面積。