多高度探針用于測量各種材料和樣品尺寸。由25厘米寬、29厘米深、0.8厘米厚的硬質(zhì)陽極氧化鋁底座組成。一根直徑為19mm、高度為20cm的不銹鋼柱（用螺絲固定在底座上）支撐探頭的升降機(jī)構(gòu)，包括垂直滑動、操作桿軸和微型開關(guān)。垂直滑動帶著探頭，由夾緊螺釘固定。探針頭的位置應(yīng)確保在探針接觸之前，微動開關(guān)不會通過電流。丟失動作確保在探頭升起之前切斷電流。探針臂可以很容易地定位在垂直軸上的不同高度，以允許對扁平材料或大或厚材料進(jìn)行探測。例如，可以將熱夾頭或含有l(wèi)n2的淺盤放置在底板上，并且可以將臂放置在允許將探針降低到浸沒在液氮中或放置在加熱階段的樣品上的位置。多高度探針可用于測量10〃x 10〃以下的晶片或更大的材料（或具有相同價格的12〃x 12〃工作區(qū)）、鋼錠和高達(dá)6〃的材料。更長的柱選項允許測量更高的材料。多高度探頭包括一個圓柱形探頭頭。

圓柱形探頭

圓柱形探頭，其中一個與多高度探頭一起提供，在標(biāo)準(zhǔn)配置下，可承受77K至120C的溫度。對圓柱形探頭的修改將使其能夠承受77K至200C的溫度（在烤箱中）。多高度探頭保守地限制在80攝氏度，但是，如果采取了某些預(yù)防措施，使用熱板可使溫度達(dá)到300攝氏度。圓柱探頭的質(zhì)量和精度都達(dá)到了很高的標(biāo)準(zhǔn)。

控制器是專門為四點(diǎn)探針測量而設(shè)計的一種專用電子儀器。它具有精度高、范圍廣和許多簡化四點(diǎn)探測測量的特點(diǎn)。以下是該試驗(yàn)裝置的特點(diǎn)：

控制器的面電阻范圍為1毫歐/平方（10^-3）到5 x 10^8歐姆/平方，精度為0.3%。體積電阻率范圍是從1毫歐姆厘米（10^-3）到10^6歐姆厘米，然而，該電阻率范圍是指直接測量大塊材料，而不是測量薄膜并使用軟件轉(zhuǎn)換為體積電阻率。例如，可以測量厚度達(dá)16微米的薄層銅（1.68 x 10^-6 ohm-cm）。如果進(jìn)入膜厚，控制器可以確定體積電阻率值。

控制器包括PC控制軟件，可用于測量記錄（以csv格式存儲數(shù)據(jù)），并可將測量值保存為板電阻或體積電阻率。

顯示器讀取輸入電流以及每平方歐姆（片電阻）、歐姆厘米（體積電阻）或毫伏，無需使用隨附的PC軟件。體積電阻率讀數(shù)需要輸入晶片或薄膜的厚度，或者如果測量大塊樣品，則需要輸入間距。

控制器具有板載非易失性存儲器，因此可以在內(nèi)部存儲多達(dá)50個測量值，然后使用軟件一次下載并保存所有測量值。或者，每個測量值都可以保存到PC上，因?yàn)樗鞘褂秒S附的軟件進(jìn)行的。

控制器有一個自動范圍按鈕，可用于自動確定給定材料的優(yōu)良輸入電流，而無需使用試錯法。

并具有前進(jìn)（FWD）和后退（REV）按鈕，可反轉(zhuǎn)電流方向。確定測量值是否有效的一種常見方法是反轉(zhuǎn)電流方向，然后檢查正向和反向電壓讀數(shù)是否關(guān)聯(lián)良好，即，數(shù)值應(yīng)相似，但反向電流電壓為負(fù)值。

允許輸入需要根據(jù)尺寸校正的樣本的校正系數(shù)。

具有日期和時間戳功能

與可選的AFPP電動Z運(yùn)動臂連接

電流源

10na至100ma（99.999ma）電流源可選輸入

可調(diào)節(jié)高度四點(diǎn)探針

多高度探針用于測量各種材料和樣品尺寸。由25厘米寬、29厘米深、0.8厘米厚的硬質(zhì)陽極氧化鋁底座組成。一根直徑為19mm、高度為20cm的不銹鋼柱（用螺絲固定在底座上）支撐探頭的升降機(jī)構(gòu)，包括垂直滑動、操作桿軸和微型開關(guān)。垂直滑動帶著探頭，由夾緊螺釘固定。探針頭的位置應(yīng)確保在探針接觸之前，微動開關(guān)不會通過電流。丟失動作確保在探頭升起之前切斷電流。探針臂可以很容易地定位在垂直軸上的不同高度，以允許對扁平材料或大或厚材料進(jìn)行探測。例如，可以將熱夾頭或含有l(wèi)n2的淺盤放置在底板上，并且可以將臂放置在允許將探針降低到浸沒在液氮中或放置在加熱階段的樣品上的位置。多高度探針可用于測量10〃x 10〃以下的晶片或更大的材料（或具有相同價格的12〃x 12〃工作區(qū)）、鋼錠和高達(dá)6〃的材料。更長的柱選項允許測量更高的材料。多高度探頭包括一個圓柱形探頭頭。

圓柱形探頭

圓柱形探頭，其中一個與多高度探頭一起提供，在標(biāo)準(zhǔn)配置下，可承受77K至120C的溫度。對圓柱形探頭的修改將使其能夠承受77K至200C的溫度（在烤箱中）。多高度探頭保守地限制在80攝氏度，但是，如果采取了某些預(yù)防措施，使用熱板可使溫度達(dá)到300攝氏度。圓柱探頭的質(zhì)量和精度都達(dá)到了很高的標(biāo)準(zhǔn)。

控制器是專門為四點(diǎn) 探針測量而設(shè)計的一種專用電子儀器。它具有精度高、范圍廣和許多簡化四點(diǎn)探測測量的特點(diǎn)。以下是該試驗(yàn)裝置的特點(diǎn)：

控制器的面電阻范圍為1毫歐/平方（10^-3）到5 x 10^8歐姆/平方，精度為0.3%。體積電阻率范圍是從1毫歐姆厘米（10^-3）到10^6歐姆厘米，然而，該電阻率范圍是指直接測量大塊材料，而不是測量薄膜并使用軟件轉(zhuǎn)換為體積電阻率。例如，可以測量厚度達(dá)16微米的薄層銅（1.68 x 10^-6 ohm-cm）。如果進(jìn)入膜厚，控制器可以確定體積電阻率值。

控制器包括PC控制軟件，可用于測量記錄（以csv格式存儲數(shù)據(jù)），并可將測量值保存為板電阻或體積電阻率。

顯示器讀取輸入電流以及每平方歐姆（片電阻）、歐姆厘米（體積電阻）或毫伏，無需使用隨附的PC軟件。體積電阻率讀數(shù)需要輸入晶片或薄膜的厚度，或者如果測量大塊樣品，則需要輸入間距。

控制器具有板載非易失性存儲器，因此可以在內(nèi)部存儲多達(dá)50個測量值，然后使用軟件一次下載并保存所有測量值?；蛘?，每個測量值都可以保存到PC上，因?yàn)樗鞘褂秒S附的軟件進(jìn)行的。

控制器有一個自動范圍按鈕，可用于自動確定給定材料的優(yōu)良輸入電流，而無需使用試錯法。

并具有前進(jìn)（FWD）和后退（REV）按鈕，可反轉(zhuǎn)電流方向。確定測量值是否有效的一種常見方法是反轉(zhuǎn)電流方向，然后檢查正向和反向電壓讀數(shù)是否關(guān)聯(lián)良好，即，數(shù)值應(yīng)相似，但反向電流電壓為負(fù)值。

允許輸入需要根據(jù)尺寸校正的樣本的校正系數(shù)。

具有日期和時間戳功能

與可選的AFPP電動Z運(yùn)動臂連接

電流源

10na至100ma（99.999ma）電流源可選輸入