手動/自動批量晶圓轉(zhuǎn)移：

AWT/MWT（自動/手動晶圓傳送）機器在卡塞之間水平傳送晶圓。

安全聯(lián)鎖裝置（AWT）

卡塞放置傳感器

晶圓傳輸過程中異常電阻的電機過電流檢測      

當(dāng)聯(lián)鎖激活時，晶片傳輸將停止

MWT有一個自返回的傳送臂，因此機器隨時可以使用。

反向卡塞裝載時可以批量翻轉(zhuǎn)

手動/自動批量晶圓轉(zhuǎn)移：

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