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批號閱讀器對齊并讀取第一個可用150mm或200mm晶圓上的識別標(biāo)簽。將150mm晶圓與平面晶圓和200mm晶圓與凹口進行批量對齊。

手動/自動批量晶圓轉(zhuǎn)移，AWT/MWT（自動/手動晶圓傳送）機器在卡塞之間水平傳送晶圓。

垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對齊，VBT系列機器是一種單級自動垂直晶圓轉(zhuǎn)移工具，具有凹口/平面對齊選項。

自動AI宏觀晶圓檢測，將檢查攝像頭整合到SPPE和SPPE-SORT設(shè)備中，以自動檢查晶片的任何方面。

自動AI晶圓邊緣檢測，安裝在批次ID閱讀器周圍的Cognex InSight ViDi D905相機。

自動AI微晶圓檢測，X/Y工作臺在顯微鏡下移動晶片，手動裝載系統(tǒng)，配備自定心晶圓裝載臺，計劃采用全自動系統(tǒng)。